多種脫臭工藝的特征與經濟性比較表

廢氣處理技術的有效性取決于費用，劑量，引起異味的化合物的存在，取決于污染物的聚集效果，以及設備保養，空間限制，有毒物質含量等多方面因素。因此，脫臭技術還需要車間生產方面配合協作。

光氧等離子廢氣處理設備凈化污染物的過程如下：

過程一：高能電子直接轟擊

過程二：產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片

O2  +  2e  →  2O·

O2   +  O·  →  O3  +  e

H2O  +  2e → H·  +  HO·

H2O  +  O·+  e →  2HO·

H· +  O2  →  HO·  +  O

C(a+b)H(m+n)O(x+y) + 2 e → CaHmOx ·+ CbHnOy·

過程三：分子碎片氧化

CaHmOx  + HO·→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O·→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O2→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O3→ CO2 + H2O

經過光氧等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量。相關反應機理如下：

H2O  +  e → H·  +  HO· +  e

H·  +  O3 → O2  +  HO·

HO·  +  O3 → HO2·  +  O2

HO2·  +  O3 → HO·  +  O2

因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。

光氧等離子廢氣處理設備廢氣處理技術是一種新興的高效廣譜廢氣處理技術。該技術利用產生的等離子體，對污染物分子進行破壞裂解，可以將有機物分解，氧化，形成無害、無味的成分，從而達到達標排放的目的。