當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。

介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，然后轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

廢氣等離子光催化處理設備優點：

①能耗低，可在室溫下與催化劑反應，無需加熱，極大地節約了能源；

②使用便利，設計時可以根據風量變化以及現場條件進行調節；

③不產生副產物，催化劑可選擇性地降解等離子體反應中所產生的副產物；

④不產生放射物；

⑤尤其適于處理有氣味及低濃度大風量的氣體。

廢氣等離子光催化處理設備該設備適用范圍廣泛，可用于石油化工、制藥行業、飼料和肥料加工廠、畜牧產品農場、化纖廠、皮革廠、制漿廠、污水泵站、各類污水處理廠、涂料、食品填加劑廠、皮革加工、感光材料、汽車制造以及公廁、糞便轉運站等諸多行業存在的有機廢氣、異味、惡臭等污染問題。既可應用于工業廢氣的治理，也可應用于室內空氣凈化等，是一項用途極為廣泛的新型空氣環境潔凈技術和產品